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タツモ 6266 ID: 2220

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…程において、塗布装置、現像装置、先端パッケージ向け装置の開発、製造、販売、メンテナンスを行っております。主力製品は、各種ウェーハに対応したウェーハ・サポート・システムであります。半導体製造装置は受注生産としており、国内外の半導体メーカーや研究機関等に販売を行っております。（搬送装置部門）半導体製造工…