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ローツェ 6323 ID: 2253

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…酸化及び水分や周囲の雰囲気による品質影響対策が必要とされるようになりました。この装置は、当社独自開発のウエハ個別保管庫で独立した窒素供給及びスライドシャッタードアにより高い自然酸化膜抑制性能と高いクリーン度を同時に達成した装置です。 (2) 分析装置分析装置は、半導体製造過程において金属汚染管理は非…