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…下のとおりであります。 (a) ＥＦＥＭＥＦＥＭ(イーフェム)とは、Equipment Front End Moduleの略で、製造装置(プロセスチャンバ)や検査装置の前面に設置する搬送装置です。ＥＦＥＭの中にあるウエハ搬送ロボットがＦＯＵＰからウエハを１枚ずつ取り出して製造装置側に取り込ん…

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第５【経理の状況】１．連結財務諸表及び財務諸表の作成方法について（１）当社の連結財務諸表は、「連結財務諸表の用語、様式及び作成方法に関する規則」（昭和51年大蔵省令第28号）に基づいて作成しております。（２）当社の財務諸表は、「財務諸表等の用語、様式及び作成方法に関する規則