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…のとおりであります。主要な製品（形式）洗浄方式製品の特徴 BW3700 バッチ式洗浄装置 (300mmウエハ対応) ◎ 2017年に初号機を顧客に納入 ◎ 装置設置面積の低減（BW3000比約10％減） ◎ 排気システムの個別配管により各処理槽間の差異を無くし処理能力を安定化…

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３【事業の内容】 (１) 当社グループについて当社グループは当社と連結子会社１社で構成されており、当社は、持株会社として当社グループの経営管理及びそれに付帯又は関連する業務等を行っております。他方、当社グループの主要な事業はいずれも連結子会社である株式会社アクセルスペースにおい