ヒーハイスト 6433 ID: 2327
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…列に配置された複数のアクチュエータ(注8)を協調して動くように制御して、テーブルを目的の位置に移動させる機構 (注8) アクチュエータ = Actuator 駆動部と直線運動及び回転運動を行う被駆動部で構成された駆動機構 (注9) 球面軸受 = Spherical Rolling Joint 筐…
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