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ＫＯＫＵＳＡＩ　ＥＬＥＣＴＲＩＣ 6525 ID: 2382

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…LP-CVD」「ALD」など、「熱処理」工程では「熱酸化」「アニール」「拡散」などに適応しております。 なお、バッチ成膜装置の主力製品であるAdvancedAce®シリーズ及びTSURUGI® 剱®シリーズの概要は下記のとおりです。 ・AdvancedAce®シリーズ：当社のコア技術である温度制御技術…
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