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…純物制御の観点から、当社はマイクロ波を選択しています。使用できるマイクロ波の周波数は電波法などで管理されており、2.45GHzもしくは915MHzの周波数の電波を使うことができます。当社は現在、2.45GHzのマイクロ波を使った装置で、ダイヤモンドを成長させています。この装置では、概ね…

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…いう問題が生じます。一方、マイクロ波プロセスにおいては、エネルギー伝達の方法が全く異なります。マイクロ波とは，波長約１mm～１m（300MHz～300GHz）の電界と磁界が直交した電磁波です。マイクロ波は、特定の物質に内部から直接かつ選択的にエネルギーを伝達できるという特徴を有し…

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…的分極反転ニオブ酸リチウム）を組み合わせた波長変換技術により、低消費電力を実現しております。DPSS（半導体励起固体）レーザと異なり、100MHzまでのパルス変調動作やピコ秒での動作が可能です。顕微鏡、フローサイトメータ、セルソータ、分光及びセンシング等のアプリケーションに使用されてい…