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…は、ウェーハを各種処理装置に取込むロードポート、ウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）などであります。その他自動省力機器高性能家電に組み込まれるモーターの組立設備をはじめあらゆる家電製品の生産設備、ストッカー・搬送装置な…

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…れぞれの詳細につきましては、以下のとおりであります。 (a) ＥＦＥＭＥＦＥＭ(イーフェム)とは、Equipment Front End Moduleの略で、製造装置(プロセスチャンバ)や検査装置の前面に設置する搬送装置です。ＥＦＥＭの中にあるウエハ搬送ロボットがＦＯＵＰからウエハを１枚…

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３【事業の内容】当社グループは、当社、連結子会社である米国のSoracom Global, Inc.、英国のSORACOM CORPORATION, LTD.及び国内の株式会社キャリオットの計４社で構成されており、IoTプラットフォーム事業（単一セグメント)を展開しておりま