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ジェイ・イー・ティ 6228 ID: 2196

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…000 バッチ式洗浄装置 (300mmウエハ対応) ◎ 処理槽の構成、数量の変更に対応(洗浄槽の配列、数量を任意に変更対応可能) ◎ 500WPH(ウエハ500枚/時間処理)に対応する高速搬送ユニットを搭載し、生産効率を向上 ◎ 前世代装置と比べ装置設置面積が小さく、工場内への設置数を…
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