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…置(システム)にあります(a)～(c)の製品です。また、それぞれの詳細につきましては、以下のとおりであります。 (a) ＥＦＥＭＥＦＥＭ(イーフェム)とは、Equipment Front End Moduleの略で、製造装置(プロセスチャンバ)や検査装置の前面に設置する搬送装置です。Ｅ…