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…過装置様々な機械部品、電子基板、電子部品等のサンプルにＸ線を照射し、そのＸ線透過像から内部の構造や欠陥を非破壊で観察する装置を指す。Ｘ線トポグラフ(トポグラフィ装置) 結晶試料にＸ線を照射して回折するＸ線の強度を記録し、２次元マッピング画像として撮影・観察する、イメージング技術による非…