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…成に必要な薄膜等を形成する成膜工程、成膜後に熱をかけて結晶サイズを揃える（アニール）等の熱処理工程、成膜上に回路を形成するパターニングを行うリソグラフィ工程、パターンに沿って膜を取り除くエッチング工程、各工程間でウェーハを洗浄する洗浄工程、各工程間での検査工程で構成されます。シリコンウェーハ…

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…な製品主な会社 Industrial Process事業露光用ランプ、OA用ランプ、光学機器用ランプ、露光装置、キュア装置、 EUVリソグラフィマスク検査用EUV光源、保守メンテナンスサービス当社㈱アドテックエンジニアリングウシオライティング㈱ USHIO AMERICA,I…