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…板検査装置液晶、有機EL、タッチパネル、フォトマスク等のガラス基板欠陥検査キズ、汚れ、異物、泡、端面キズの検出高機能フィルム検査装置ロールツーロール方式における各成膜工程の欠陥検査有機EL、タッチパネル等の配線欠陥、キズ、汚れ、異物、ピンホールの検出なお、液晶パネルの生産工程とかかる…